[Used ION SPUTTER] ION SPUTTER HITACHI E1010

Marjor 사양

명세서		E-1010	E-1020
방전 operaiton	유형	다이오드	다이오드
	전극 형태	링 (63mm 디아.)	링 (88mm 디아.)
	전압	DC 2.5Kv, 0.5kV	직류 2.5kV, 0.5kV
	현재	직류 0 ~ 30mA	직류 0 ~ 30mA
코팅 먹은 (AU)		10nm/min	60nm/min
견본	맥스. 직경	50mm	80mm
	고도	15mm	15mm
로터리 펌프		20L/min	50L/min
권력		단상 교류 100V 1kVA의 10 %,
치수	폭	35cm	35cm
	깊이	44cm	44cm
	고도	31cm	33cm
무게		29kg	31kg

Maker : HITACHI

Model : E1010

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Mobile : +821037623650